Многокристальная сборка в одном модуле (flip-chip, bump-bonding с управляющим кристаллом) ic_multidie
Кристалл с кубитами, соединённый бампами лицом к лицу со вторым сверхпроводниковым кристаллом, который несёт разводку, резонаторы, второй материал или управляющую логику, — внутри одного корпуса, через вакуумный зазор от нескольких до ~20 µm.
Многокристальная сборка в одном модуле (flip-chip, bump-bonding с управляющим кристаллом)
Кристалл с кубитами, соединённый flip-chip с кристаллом разводки или управления внутри одного корпуса — Sycamore, Zuchongzhi, Ocelot, модуль flip-chip на БОК-логике: межсоединение ниже масштаба модуля, которое узел многокристальных модулей не описывает.
Обзор →Ключевые источники
Пространство проектирования — атрибуты
- (a) сродство носителя
- искусственный
- (b) время · запутывание
- —
- (c) считывание
- —
- (d) подвижность
- статическая разводка ближайших соседей
- (e) управление
- СВЧ @ милликельвиновая ступень
- (f) структура ошибки
- когерентная / калибровочная
- (g) производство
- литография сверхпроводниковых схем
Пространство оценки — датированные атрибуты
нет датированных атрибутов
Пределы — выход годных столбиковых соединений и тепловое рассогласование; сдвигает стену разводки, а не стену модулей.
Участники и цели — аннотации
Рёбра
Используют 12 машин (12 основная · 0 альтернатива)
- сверхпроводниковые схемы 12
- Academia Sinica 20-qubit superconducting quantum computer Academia Sinica пресса ▨ 🔎
- AWS Ocelot AWS Center for Quantum Computing ▤ App. A (Device fabrication) ✅
- WACQT quantum computer (Chalmers 25-qubit flip-chip processor) Chalmers University of Technology (WACQT) ▤ abstract ✅
- Tianyan-287 China Telecom Quantum Group / QuantumCTek / CAS статья документация документация ▤ 🔎
- Sycamore Google Quantum AI статья ▤ §Building a high-fidelity processor (indium bump-bonds between two Si wafers); SI Fig. S1 (packaged chip) ✅
- Sycamore-class 72-qubit processor Google Quantum AI статья статья ◌ 🔎
- IBM Quantum Eagle r1-r3 IBM статья статья статья ▦ O. Dial, 23 Mar 2022, §packaging ✅
- QpiAI Kaveri QpiAI пресса ▨ 🔎
- SEEQC SFQ-controlled 5-qubit system SEEQC статья пресса ▤ Supp. §A Device Design and Fabrication ✅
- SUSTech four-dual-rail-qubit processor Southern University of Science and Technology (Huang et al.) статья статья ▣ §II, Fig. 1a; Supplementary §I ✅
- Zuchongzhi 3.0 USTC / Hefei National Laboratory статья статья пресса ▣ Fig. 1a (two sapphire chips, flip-chip) ✅
- Zuchongzhi 3.2 USTC / Hefei National Laboratory ▤ 🔎
Иллюстрации
У каждой иллюстрации — рассказ о том, что на ней, и строка авторства.



Многокристальная сборка в одном модуле (flip-chip, bump-bonding с управляющим кристаллом)
Кристалл с кубитами, соединённый бампами лицом к лицу со вторым сверхпроводниковым кристаллом, который несёт разводку, резонаторы, второй материал или управляющую логику, — внутри одного корпуса, через вакуумный зазор от нескольких до ~20 µm.
Вердикт. Семь из 12 носителей в реестре документируют двухкристальный стек в источнике, который был открыт и проверен (✅); он переносит стену разводки на второй кристалл, но не соединяет модулей, и по состоянию на 2026-09-30 ни один носитель не опубликовал выход годных бампов — число бампов и разброс зазора опубликовал только Chalmers.
In = индий; TSV = сквозное отверстие в кремнии (through-silicon via); БОК = быстрая одноквантовая логика на одиночных квантах потока (single flux quantum), цифровая сверхпроводниковая логика; T1, T2,echo = время релаксации и время дефазировки с эхом; Q = добротность; G1–G7 = классы целей отчёта (см. «Участники и экономика»).
Сущность и происхождение
Два сверхпроводниковых кристалла обращены друг к другу через вакуумный зазор и соединены индиевыми бампами: один несёт кубиты, другой — разводку, резонаторы, другой материал или управляющую логику — межсоединение ниже масштаба модуля, без когерентной связи, выходящей за пределы корпуса. В Sycamore использовался «индий для бамп-соединений между двумя кремниевыми пластинами» D[291]; Zuchongzhi 3.0 размещает 105 кубитов и 182 элемента связи на одном сапфировом чипе, а «все линии управления и резонаторы считывания» — на другом D[35]; Ocelot соединяет алюминиевый кристалл с переходами с танталовым кристаллом резонаторов D[80]; SEEQC устанавливает кубитный чип 5 × 5 mm на БОК-кристалл 10 × 10 mm D[304]. Корень: flip-chip-монтаж потоковых кубитов на чип считывания и управления в MIT Lincoln Laboratory в 2017 году D[754]. Это не ic_mcm, который собирает кубитные кристаллы плитками в одну решётку, и не ct_vio, который подводит линии через лицевую поверхность чипа.
Атрибуты: изготавливаемый, статический; СВЧ при милликельвинах; когерентная ошибка; сверхпроводниковая литография.
Физика и пределы
Зазор — это элемент схемы. Когерентность переживает накрывающий кристалл (cap) — соединённые потоковые кубиты сохранили T1 20.9 µs, T2,echo 24.6 µs при гальванической, ёмкостной и индуктивной связи между чипами D[754]; трансмоны при зазоре (7.8 ± 0.8) µm в среднем выше 90 µs D[755], — но частоты следуют за расстоянием: 1 µm сдвигает резонатор 6 GHz на ~2%, ~120 MHz D[755]. Поскольку f ∝ C^−1/2, накрывающий кристалл, на который приходится доля p ёмкости трансмона, сдвигает f на ≈ ½p·δd/d — при p = 0.2 и ±0.8 µm на 7.8 µm это ~50 MHz на 5 GHz S; отсюда жёсткий алюминиевый упор SEEQC, фиксирующий 10 µm D[304]. Обращённые друг к другу земляные плоскости образуют волновод из параллельных пластин с поперечными модами около c/2L ≈ 7.5 GHz на кристалле 20 mm, если только земляные бампы не сшивают их с миллиметровым шагом S.
Бампы. In на барьере TiN поверх алюминия сверхпроводящ на всём протяжении (Tc 1.1 K), средний критический ток 26.8 mA, устойчив к сдвигу и термоциклированию D[756]. Потери сидят на интерфейсах: трансмоны с гальванически осаждённым In достигают Q ≈ 10⁶ (T1 ≈ 32 µs на 5 GHz S), скорее всего ограниченные контактным слоем золота D[757]. Рассогласование (теплового расширения) нагружает бамп на сдвиг ∝ Δα·ΔT·r/h (r — расстояние от центра кристалла, h — высота бампа): нулевой для одинаковых подложек, наихудший для разнородных пар и больших кристаллов S.
Квазичастицы. Отдельный управляющий кристалл разрывает фононный путь: БОК-кристалл на бампах In достиг ошибки 1.2(1)% на клиффорд, вдесятеро лучше прежнего БОК-управления D[249]; богатые алюминием бампы SEEQC одновременно служат ловушками квазичастиц D[304].
Достигнутый инженерный уровень
таблица
| Год | Показатель | Кто | Тег+ключ |
|---|---|---|---|
| 2017-10 | Потоковые кубиты, смонтированные flip-chip на управляющий чип; столбики In 8–30 µm; T1 20.9 µs | MIT Lincoln Laboratory | D[754] |
| 2019-10 | 53 кубита; металлизация и переходы Al, бамп-соединения In между двумя пластинами Si | D[291] | |
| 2022-06 | Двухкристальные трансмонные модули, зазор (7.8 ± 0.8) µm; CZ (98.66 ± 0.08)% | Chalmers | D[755] |
| 2023-07 | БОК-кристалл + кубитный кристалл на бампах In; ошибка на клиффорд 1.2(1)% | Liu et al. | D[249] |
| 2024-12 | 105 кубитов + 182 элемента связи на одном сапфировом кристалле, управление и считывание — на другом | USTC | D[35] |
| 2025-02 | Кристалл с переходами Al 16 × 14 mm² на кристалле резонаторов Ta 20 × 20 mm² | AWS | D[80] |
| 2025-03 | Кубитный чип на БОК-кристалле, зазор 10 µm; однокубитная точность до 99.9% | SEEQC | D[304] |
| 2026-08 | Гальванически осаждённые бампы In; трансмон flip-chip с Q ≈ 10⁶ | Shih et al. | D[757] |
Доминирующий член — разделение, которое допускает бамп: Zuchongzhi 3.0 распределяет тантал и алюминий между своими сапфировыми чипами, что «увеличивает время релаксации» D[35]; Ocelot размещает переходы, трансмоны, элементы связи и буферы на алюминии, а резонаторы хранения, считывания и Парселла — на тантале D[80].
Производство, материалы и цепочка поставок
Одно семейство процессов: бампы In на барьере TiN D[756], столбики 8 µm в Chalmers D[755], In на жёстком алюминиевом упоре у SEEQC D[304], гальванически осаждённый In, которому нужно золото и за который приходится платить потерями D[757]; Si–Si у Google D[291], сапфир–сапфир у USTC D[35]. Сквозные отверстия (vias) подключаются, когда линии должны выйти наружу: сверхпроводниковые TSV MIT Lincoln Laboratory размером 10 × 20 × 200 µm проводили управление и считывание в стеке на бамп-соединениях D[540]; Eagle от IBM соединяет пластину с кубитами с интерпозером, имеющим трёхуровневую разводку и сквозные отверстия в подложке C[758]. По состоянию на 2026-09-26 ни один открытый источник не называет ни поставщика соединения (bonding), ни выхода годных при термоциклировании.
Управление, считывание и нагрузка на ввод-вывод
Второй кристалл переносит стену разводки, а не число линий. При k линиях на кубит и c линиях на промежуток между кубитами краевая разводка решётки m × m замыкается при m = 4c/k (оценка ct_vio); поскольку N = m², удвоение c учетверяет потолок, но линии по-прежнему выходят через периметр ∝ √N — снять это могут лишь сквозные отверстия или холодное управление S. Исключение — кристалл, который сам формирует импульсы: БОК-кристалл SEEQC демультиплексирует сигналы, так что кубиты делят линии, — 2.375 nW на кубит при 1:8 против 5.5 nW для РЧ-варианта из той же статьи и 2.5 µW для крио-КМОП, причём «без доставки сигналов через бамп-соединения»: вся связь проходит через вакуумный зазор D[304]. На 10³ кубитах кристалл разводки необходим, но не достаточен; на 10⁴–10⁶ он служит подложкой для сквозных отверстий или холодной логики S.
Роль в стеке
Занимает слот 9 как альтернатива в архитектурах Решётка трансмонов с перестраиваемыми элементами связи, Бозонные кубиты в резонаторах — кошачьи кубиты и GKP (GKP — код Готтесмана–Китаева–Прескилла) и Двухрельсовые кубиты со стираниями (erasure). Он требует fab_sc («сверхпроводниковые кристаллы на бамп-соединениях»); ребро даёт не записано; в графе ic_mcm его заменяет («модуль-модуль против кристалл-кристалл»), однако оба используют один процесс бампов, а процессор из плиток может собирать в стек каждую плитку — это граница, а не замещение S. Он лежит под ct_vio: стек выходит наружу по краю, если его не пронизывают сквозные отверстия. Его несут двенадцать машин реестра (12 — как основную технологию). ✅: Sycamore-53 D[291], Zuchongzhi 3.0 D[35], Ocelot D[80], SEEQC — по его Supp. §A D[304], IBM Quantum Eagle r1-r3 C[758], WACQT quantum computer (Chalmers 25-qubit flip-chip processor; 2 900 индиевых бампов между двумя ярусами Dфакт), процессор SUSTech на четырёх двухрельсовых кубитах — кристалл кубитов, смонтированный flip-chip на кристалл-носитель D[406], — и запланированный Lithium от Alice & Bob: «кубиты на одной стороне, их соединения — на другой» Rфакт. 72-кубитный Sycamore остаётся 🔎 — в его статье не названы ни бампы, ни flip-chip, ни корпус D[602]; Tianyan-287 наследует по сходству, как процессор, «подобный Zuchongzhi 3.0» C[708], а Beryllium от Alice & Bob — как преемник Lithium, хотя источник не повторяет для него flip-chip; «методы стекирования чипов» Academia Sinica C[759] и «интегрированная flip-chip-технология» Kaveri P[760] бампов не называют; источник по Zuchongzhi 3.2 не открывался. Пробел G-multidie закрыт: все проверенные (✅) носители — их семь — документируют двухкристальный стек, каждый разделён по функции или материалу, ни один не собирает решётку из плиток; двухрельсовое размещение из журнала пробелов (ledger) подтверждает процессор SUSTech.
Свидетельства — как измерены числа
Когерентность под накрывающим кристаллом показана на масштабе нескольких кубитов D[754]D[755]; данных по вентилям в стеке мало: CZ (98.66 ± 0.08)% D[755], однокубитная точность до 99.9% при БОК-управлении D[304]. Бенчмарки крупных носителей скрывают корпус. Отсутствуют по состоянию на 2026-09-26: одна и та же конструкция, измеренная с накрывающим кристаллом и без него; карты зазора по кристаллу >100 кубитов в сопоставлении с ошибкой попадания в целевую частоту; непрерывность бампов при термоциклах; контрольная цифра для выигрыша по T1 у Zuchongzhi 3.0.
В аннотации Tianyan-287 корпусирование не названо, а корпусирование Zuchongzhi 3.2 не подтверждено. T1 ≈ 32 µs у Shih et al. предполагает частоту кубита 5 GHz, которой источник не приводит. Не опубликовано: выход годных бампов или отказы при термоциклах для какой-либо машины-носителя; единственное число бампов — 2 900 у процессора WACQT, чей межкристальный зазор проверен электронной микроскопией, но не приведён факт.
Участники и экономика
Кто.
| Организация | Роль | Страна | Что именно они делают с этой технологией | Свидетельства |
|---|---|---|---|---|
| Google Quantum AI | разработчик | США | Sycamore из двух пластин на бампах In; процесс бампов, совместимый с кубитами | D[291]D[756] |
| USTC | разработчик | Китай | Кристалл кубитов/элементов связи на кристалле управления и считывания, разделение Ta/Al | D[35] |
| AWS Center for Quantum Computing | разработчик | США | Нелинейный кристалл Al на линейном кристалле Ta (Ocelot) | D[80] |
| SEEQC | разработчик | США | Кубитный чип на управляющем БОК-кристалле, зазор 10 µm | D[304] |
| IBM | разработчик | США | Пластина с кубитами на интерпозере с разводкой (Eagle) | C[758] |
| MIT Lincoln Laboratory | исследования | США | Потоковые кубиты flip-chip; TSV в стеках на бамп-соединениях | D[754]D[540] |
| Chalmers University of Technology | исследования | Швеция | Двухкристальные трансмонные модули, метрология зазора | D[755] |
| Academia Sinica | исследования | Тайвань | «Стекирование чипов» в 20-кубитной системе | C[759] |
| QpiAI | разработчик | Индия | Kaveri, flip-chip назван в прессе | P[760] |
| SUSTech | исследования | Китай | Процессор на четырёх двухрельсовых кубитах: кристалл кубитов flip-chip на кристалле-носителе | D[406] |
| Alice & Bob | разработчик | Франция | Flip-chip, запланированный для кристалла кошачьих кубитов Lithium | Rфакт |
Деньги. По состоянию на 2026-09-26 не найдено ни одной датированной финансовой позиции с источником, относящейся именно к многокристальной сборке.
Рынок и цепочка поставок. Каждый задокументированный стек построен разработчиком своего процессора или лабораторией S. Работает на G2–G4 на трансмонной архитектуре и на G3–G4 на архитектурах кошачьих и двухрельсовых кубитов.
Интеллектуальная собственность и стандарты. Количество патентов по названной базе данных здесь не приводится; по состоянию на 2026-09-26 ни один открытый источник не называет стандарта на соединение (bonding).
Дорожные карты и послужной список. По состоянию на 2026-09-26 ни один носитель не публикует датированной вехи по корпусированию; Academia Sinica «продолжает совершенствовать методы стекирования чипов» C[759]; Kaveri нацелен на когерентность ~100 µs и ошибку ~10⁻² P[760].
Стратегическое прочтение. Задокументированные большие трансмонные решётки — Sycamore, Zuchongzhi 3.0, Eagle — ведут разводку через второй кристалл; он покупает свободу выбора материалов и разводку, а не масштаб. Ценность смещается к контролю зазора и выходу годных бампов при 10³–10⁴ бампах, а для БОК — к тому единственному второму кристаллу, который убирает линии.
Перспективы и открытые вопросы
Подтвердить, если до 2027-12-31 носитель с числом кубитов свыше 100 опубликует число бампов, разброс зазора и ошибку попадания в целевую частоту; понизить, если к тому сроку ни один носитель с числом кубитов свыше 100 этих чисел не опубликует. Открытые вопросы. (1) Какова непрерывность бампов за один термоцикл при 10⁴ бампах? (2) Какая часть ошибки попадания в целевую частоту у кубитов с фиксированной частотой обусловлена неоднородностью зазора? (3) Задаёт ли интерфейс бампов пол потерь около Q ≈ 10⁶? (4) Может ли БОК-кристалл под кубитами удержать свой вклад в ошибку ниже 10⁻³? (5) Сохраняют ли преемники Sycamore, Zuchongzhi 3.2 и Tianyan-287 двухкристальный стек, который выводит реестр?
Литература
- [35] D. Gao et al., “Establishing a New Benchmark in Quantum Computational Advantage with 105-qubit Zuchongzhi 3.0 Processor,” Phys. Rev. Lett., vol. 134, Art. no. 090601, Mar. 2025, doi: 10.1103/PhysRevLett.134.090601. arXiv:2412.11924. [D]
- [80] H. Putterman et al., “Hardware-efficient quantum error correction via concatenated bosonic qubits,” Nature, vol. 638, no. 8052, pp. 927–934, Feb. 2025, doi: 10.1038/s41586-025-08642-7. [D]
- [249] C. Liu et al., “Single Flux Quantum-Based Digital Control of Superconducting Qubits in a Multichip Module,” PRX Quantum, vol. 4, no. 3, Art. no. 030310, Jul. 2023, doi: 10.1103/PRXQuantum.4.030310. [D]
- [291] F. Arute et al., “Quantum supremacy using a programmable superconducting processor,” Nature, vol. 574, no. 7779, pp. 505–510, Oct. 2019, doi: 10.1038/s41586-019-1666-5. [D]
- [304] C. Jordan et al., “A quantum computer controlled by superconducting digital electronics at millikelvin temperature,” Nat. Electron., vol. 9, no. 3, pp. 287–294, Mar. 2026, doi: 10.1038/s41928-026-01576-6. [D]
- [406] W. Huang et al., “Logical multi-qubit entanglement with dual-rail superconducting qubits,” Nat. Phys., vol. 22, no. 4, pp. 591–597, Mar. 2026, doi: 10.1038/s41567-026-03211-9. arXiv:2504.12099. [D]
- [540] D.-R. W. Yost et al., “Solid-state qubits integrated with superconducting through-silicon vias,” npj Quantum Inf., vol. 6, Art. no. 59, 2020, doi: 10.1038/s41534-020-00289-8. arXiv:1912.10942. [D]
- [602] R. Acharya et al., “Suppressing quantum errors by scaling a surface code logical qubit,” Nature, vol. 614, pp. 676–681, Feb. 2023, doi: 10.1038/s41586-022-05434-1. [D]
- [708] T. Q. Group, “Tianyan: Cloud services with quantum advantage,” arXiv:2512.10504, Dec. 2025. [C]
- [754] D. Rosenberg et al., “3D integrated superconducting qubits,” npj Quantum Inf., vol. 3, Art. no. 42, Oct. 2017, doi: 10.1038/s41534-017-0044-0. arXiv:1706.04116. [D]
- [755] S. Kosen et al., “Building blocks of a flip-chip integrated superconducting quantum processor,” Quantum Sci. Technol., vol. 7, no. 3, Art. no. 035018, Jun. 2022, doi: 10.1088/2058-9565/ac734b. arXiv:2112.02717. [D]
- [756] B. Foxen et al., “Qubit compatible superconducting interconnects,” Quantum Sci. Technol., Aug. 2017, doi: 10.1088/2058-9565/aa94fc. arXiv:1708.04270. [D]
- [757] Y.-A. Shih et al., “Flip-chip integrated superconducting qubits using electroplated bump bonds,” arXiv:2608.07306, Aug. 2026. [D]
- [758] O. Dial, “Eagle's quantum performance progress,” IBM Quantum Computing Blog, Mar. 23, 2022. [Online]. Available: https://www.ibm.com/
quantum/ [C]blog/ eagle-quantum-processor-performance - [759] Academia Sinica, “Academia Sinica Unveils 20-Qubit Superconducting Quantum Computer: Manufacturing Capabilities Reach Global Top-Tier,” Jan. 29, 2026. [Online]. Available: https://www.sinica.edu.tw/
en/ [C]news_content/ 55/ 3655 - [760] N. Pereira, “QpiAI Unveils Kaveri, India's First Aatmanirbhar 64-Qubit Quantum Chip,” Sify, Feb. 26, 2026. [Online]. Available: https://www.sify.com/
science-tech/ [P]qpiai-unveils-kaveri-indias-first-aatmanirbhar-64-qubit-quantum-chip/