← Quantum Technology AtlasТехнологии · Машины · Архитектуры · ОрганизацииEnglishעברית

Многокристальная сборка в одном модуле (flip-chip, bump-bonding с управляющим кристаллом) ic_multidie

Кристалл с кубитами, соединённый бампами лицом к лицу со вторым сверхпроводниковым кристаллом, который несёт разводку, резонаторы, второй материал или управляющую логику, — внутри одного корпуса, через вакуумный зазор от нескольких до ~20 µm.

Многокристальная сборка в одном модуле (flip-chip, bump-bonding с управляющим кристаллом)

ic_multidie · слой 9 Межсоединение · продемонстрировано · с 2017

Кристалл с кубитами, соединённый flip-chip с кристаллом разводки или управления внутри одного корпуса — Sycamore, Zuchongzhi, Ocelot, модуль flip-chip на БОК-логике: межсоединение ниже масштаба модуля, которое узел многокристальных модулей не описывает.

Обзор →

Ключевые источники

[291] F. Arute et al., “Quantum supremacy using a programmable superconducting processor,” Natur… · 2019
[35] D. Gao et al., “Establishing a New Benchmark in Quantum Computational Advantage with 105-q… · 2025
[80] H. Putterman et al., “Hardware-efficient quantum error correction via concatenated bosonic… · 2025
[304] C. Jordan et al., “A quantum computer controlled by superconducting digital electronics at… · 2026
[754] D. Rosenberg et al., “3D integrated superconducting qubits,” npj Quantum Inf., vol. 3, Art… · 2017

Пространство проектирования — атрибуты

(a) сродство носителя
искусственный
(b) время · запутывание
—
(c) считывание
—
(d) подвижность
статическая разводка ближайших соседей
(e) управление
СВЧ @ милликельвиновая ступень
(f) структура ошибки
когерентная / калибровочная
(g) производство
литография сверхпроводниковых схем

Пространство оценки — датированные атрибуты

нет датированных атрибутов

Пределы — выход годных столбиковых соединений и тепловое рассогласование; сдвигает стену разводки, а не стену модулей.

Рёбра

нужно: Литография сверхпроводниковых кубитов (переходы Al/AlOx/Al, разводка из Nb, 300 mm)
альтернативы: Многокристальные модули / l-couplers (один криостат)
° одно из нескольких, что подошли бы · обычный маршрут, не строгая необходимость

Используют 12 машин (12 основная · 0 альтернатива)

↗ карточка реестра · статья / продукт / пресса: ссылки, где машина названа (атрибуция проверена 20 сентября 2026)

Иллюстрации

У каждой иллюстрации — рассказ о том, что на ней, и строка авторства.

Fig. 1 — Figure 1: Flip-chip architecture: (a) Top-view false-colour SEM image of a representative NbN circuitry patterned on the qubit-chip to connect the S…
A composite paper figure of scanning-electron micrographs and a cross-section drawing: a silicon-MOS spin-qubit chip flipped onto a sapphire microwave chip and joined by micrometre indium bumps. It comes from arXiv paper 2604.25871 by Granel, Zihlmann and co-authors. It shows how a gate-defined spin qubit made in a CMOS-style process can be wired to a superconducting resonator for fast readout; notice the single sliced indium bump in panel (d). “Fig. 1 — Figure 1: Flip-chip architecture: (a) Top-view false-colour SEM image of a representative NbN circuitry patterned on the qubit-chip to connect the Si-MOS…” by Sebastien Granel et al., arxiv.org/abs/2604.25871, CC BY 4.0 (creativecommons.org/licenses/by/4.0/)
Fig. 2 — Figure 2: Two-qubit flip-chip device. (a) Illustration of two fixed-frequency transmon qubits and one frequency-tunable coupler, located on the Q-ch…
Five-panel paper figure: a colour-coded layout drawing of a flip-chip device, with two fixed-frequency transmon qubits and a tunable coupler on one chip and control lines and readout resonators on the other, plus a parameter table and measured data (Ramsey trace, avoided crossing with 2g = 60 MHz, chevron). From the arXiv paper "Building Blocks of a Flip-Chip Integrated Superconducting Quantum Processor" by Sandoko Kosen and co-authors; the register notes a Chalmers/WACQT test device made with VTT. It shows how stacking two chips moves wiring off the qubit chip. “Fig. 2 — Figure 2: Two-qubit flip-chip device. (a) Illustration of two fixed-frequency transmon qubits and one frequency-tunable coupler, located on the Q-chip, and…” by Sandoko Kosen et al., arxiv.org/abs/2112.02717, CC BY 4.0 (creativecommons.org/licenses/by/4.0/)
Fig. 1 — Fig. 1: (a) Cross-sectional view at AA’ plane in (f) (not to scale), illustrating the chip stack-up and the coupling section between readout resonat…
Figure of a two-chip (flip-chip) superconducting device. Top left, a cross-section drawing (not to scale) of top and bottom chips joined by indium bumps; bottom left, a false-coloured micrograph through the bonded pair showing the feedline, eight meandered readout resonators, two spiral Purcell-filter resonators, bump grid and SU-8 spacers (1 mm scale bars); right, a 3D model with the top chip flipped open and close-ups of the coupling sections. From arXiv 2603.16693 by Zhen Luo, Amelie Hagelauer and co-authors; the chip label reads BPF_DEMO_V1, 2025.04.16. A Purcell filter passes readout signals but stops qubit energy leaking out; here readout and filter circuits are split between the two bump-bonded chips. “Fig. 1 — Fig. 1: (a) Cross-sectional view at AA’ plane in (f) (not to scale), illustrating the chip stack-up and the coupling section between readout resonator and…” by Zhen Luo et al., arxiv.org/abs/2603.16693, CC BY 4.0 (creativecommons.org/licenses/by/4.0/)
ic_multidie · слой 9 Межсоединение · центральность 5.8 · продемонстрировано · с 2017 · обновлено 2026-09-30

Многокристальная сборка в одном модуле (flip-chip, bump-bonding с управляющим кристаллом)

Кристалл с кубитами, соединённый бампами лицом к лицу со вторым сверхпроводниковым кристаллом, который несёт разводку, резонаторы, второй материал или управляющую логику, — внутри одного корпуса, через вакуумный зазор от нескольких до ~20 µm.

Вердикт. Семь из 12 носителей в реестре документируют двухкристальный стек в источнике, который был открыт и проверен (✅); он переносит стену разводки на второй кристалл, но не соединяет модулей, и по состоянию на 2026-09-30 ни один носитель не опубликовал выход годных бампов — число бампов и разброс зазора опубликовал только Chalmers.

Ключевые источники

In = индий; TSV = сквозное отверстие в кремнии (through-silicon via); БОК = быстрая одноквантовая логика на одиночных квантах потока (single flux quantum), цифровая сверхпроводниковая логика; T1, T2,echo = время релаксации и время дефазировки с эхом; Q = добротность; G1–G7 = классы целей отчёта (см. «Участники и экономика»).

Сущность и происхождение

Два сверхпроводниковых кристалла обращены друг к другу через вакуумный зазор и соединены индиевыми бампами: один несёт кубиты, другой — разводку, резонаторы, другой материал или управляющую логику — межсоединение ниже масштаба модуля, без когерентной связи, выходящей за пределы корпуса. В Sycamore использовался «индий для бамп-соединений между двумя кремниевыми пластинами» D[291]; Zuchongzhi 3.0 размещает 105 кубитов и 182 элемента связи на одном сапфировом чипе, а «все линии управления и резонаторы считывания» — на другом D[35]; Ocelot соединяет алюминиевый кристалл с переходами с танталовым кристаллом резонаторов D[80]; SEEQC устанавливает кубитный чип 5 × 5 mm на БОК-кристалл 10 × 10 mm D[304]. Корень: flip-chip-монтаж потоковых кубитов на чип считывания и управления в MIT Lincoln Laboratory в 2017 году D[754]. Это не ic_mcm, который собирает кубитные кристаллы плитками в одну решётку, и не ct_vio, который подводит линии через лицевую поверхность чипа.
Атрибуты: изготавливаемый, статический; СВЧ при милликельвинах; когерентная ошибка; сверхпроводниковая литография.

Физика и пределы

Зазор — это элемент схемы. Когерентность переживает накрывающий кристалл (cap) — соединённые потоковые кубиты сохранили T1 20.9 µs, T2,echo 24.6 µs при гальванической, ёмкостной и индуктивной связи между чипами D[754]; трансмоны при зазоре (7.8 ± 0.8) µm в среднем выше 90 µs D[755], — но частоты следуют за расстоянием: 1 µm сдвигает резонатор 6 GHz на ~2%, ~120 MHz D[755]. Поскольку f ∝ C^−1/2, накрывающий кристалл, на который приходится доля p ёмкости трансмона, сдвигает f на ≈ ½p·δd/d — при p = 0.2 и ±0.8 µm на 7.8 µm это ~50 MHz на 5 GHz S; отсюда жёсткий алюминиевый упор SEEQC, фиксирующий 10 µm D[304]. Обращённые друг к другу земляные плоскости образуют волновод из параллельных пластин с поперечными модами около c/2L ≈ 7.5 GHz на кристалле 20 mm, если только земляные бампы не сшивают их с миллиметровым шагом S.
Бампы. In на барьере TiN поверх алюминия сверхпроводящ на всём протяжении (Tc 1.1 K), средний критический ток 26.8 mA, устойчив к сдвигу и термоциклированию D[756]. Потери сидят на интерфейсах: трансмоны с гальванически осаждённым In достигают Q ≈ 10⁶ (T1 ≈ 32 µs на 5 GHz S), скорее всего ограниченные контактным слоем золота D[757]. Рассогласование (теплового расширения) нагружает бамп на сдвиг ∝ Δα·ΔT·r/h (r — расстояние от центра кристалла, h — высота бампа): нулевой для одинаковых подложек, наихудший для разнородных пар и больших кристаллов S.
Квазичастицы. Отдельный управляющий кристалл разрывает фононный путь: БОК-кристалл на бампах In достиг ошибки 1.2(1)% на клиффорд, вдесятеро лучше прежнего БОК-управления D[249]; богатые алюминием бампы SEEQC одновременно служат ловушками квазичастиц D[304].

Достигнутый инженерный уровень

таблица
Год Показатель Кто Тег+ключ
2017-10 Потоковые кубиты, смонтированные flip-chip на управляющий чип; столбики In 8–30 µm; T1 20.9 µs MIT Lincoln Laboratory D[754]
2019-10 53 кубита; металлизация и переходы Al, бамп-соединения In между двумя пластинами Si Google D[291]
2022-06 Двухкристальные трансмонные модули, зазор (7.8 ± 0.8) µm; CZ (98.66 ± 0.08)% Chalmers D[755]
2023-07 БОК-кристалл + кубитный кристалл на бампах In; ошибка на клиффорд 1.2(1)% Liu et al. D[249]
2024-12 105 кубитов + 182 элемента связи на одном сапфировом кристалле, управление и считывание — на другом USTC D[35]
2025-02 Кристалл с переходами Al 16 × 14 mm² на кристалле резонаторов Ta 20 × 20 mm² AWS D[80]
2025-03 Кубитный чип на БОК-кристалле, зазор 10 µm; однокубитная точность до 99.9% SEEQC D[304]
2026-08 Гальванически осаждённые бампы In; трансмон flip-chip с Q ≈ 10⁶ Shih et al. D[757]

Доминирующий член — разделение, которое допускает бамп: Zuchongzhi 3.0 распределяет тантал и алюминий между своими сапфировыми чипами, что «увеличивает время релаксации» D[35]; Ocelot размещает переходы, трансмоны, элементы связи и буферы на алюминии, а резонаторы хранения, считывания и Парселла — на тантале D[80].

Производство, материалы и цепочка поставок

Одно семейство процессов: бампы In на барьере TiN D[756], столбики 8 µm в Chalmers D[755], In на жёстком алюминиевом упоре у SEEQC D[304], гальванически осаждённый In, которому нужно золото и за который приходится платить потерями D[757]; Si–Si у Google D[291], сапфир–сапфир у USTC D[35]. Сквозные отверстия (vias) подключаются, когда линии должны выйти наружу: сверхпроводниковые TSV MIT Lincoln Laboratory размером 10 × 20 × 200 µm проводили управление и считывание в стеке на бамп-соединениях D[540]; Eagle от IBM соединяет пластину с кубитами с интерпозером, имеющим трёхуровневую разводку и сквозные отверстия в подложке C[758]. По состоянию на 2026-09-26 ни один открытый источник не называет ни поставщика соединения (bonding), ни выхода годных при термоциклировании.

Управление, считывание и нагрузка на ввод-вывод

Второй кристалл переносит стену разводки, а не число линий. При k линиях на кубит и c линиях на промежуток между кубитами краевая разводка решётки m × m замыкается при m = 4c/k (оценка ct_vio); поскольку N = m², удвоение c учетверяет потолок, но линии по-прежнему выходят через периметр ∝ √N — снять это могут лишь сквозные отверстия или холодное управление S. Исключение — кристалл, который сам формирует импульсы: БОК-кристалл SEEQC демультиплексирует сигналы, так что кубиты делят линии, — 2.375 nW на кубит при 1:8 против 5.5 nW для РЧ-варианта из той же статьи и 2.5 µW для крио-КМОП, причём «без доставки сигналов через бамп-соединения»: вся связь проходит через вакуумный зазор D[304]. На 10³ кубитах кристалл разводки необходим, но не достаточен; на 10⁴–10⁶ он служит подложкой для сквозных отверстий или холодной логики S.

Роль в стеке

Занимает слот 9 как альтернатива в архитектурах Решётка трансмонов с перестраиваемыми элементами связи, Бозонные кубиты в резонаторах — кошачьи кубиты и GKP (GKP — код Готтесмана–Китаева–Прескилла) и Двухрельсовые кубиты со стираниями (erasure). Он требует fab_sc («сверхпроводниковые кристаллы на бамп-соединениях»); ребро даёт не записано; в графе ic_mcm его заменяет («модуль-модуль против кристалл-кристалл»), однако оба используют один процесс бампов, а процессор из плиток может собирать в стек каждую плитку — это граница, а не замещение S. Он лежит под ct_vio: стек выходит наружу по краю, если его не пронизывают сквозные отверстия. Его несут двенадцать машин реестра (12 — как основную технологию). ✅: Sycamore-53 D[291], Zuchongzhi 3.0 D[35], Ocelot D[80], SEEQC — по его Supp. §A D[304], IBM Quantum Eagle r1-r3 C[758], WACQT quantum computer (Chalmers 25-qubit flip-chip processor; 2 900 индиевых бампов между двумя ярусами Dфакт), процессор SUSTech на четырёх двухрельсовых кубитах — кристалл кубитов, смонтированный flip-chip на кристалл-носитель D[406], — и запланированный Lithium от Alice & Bob: «кубиты на одной стороне, их соединения — на другой» Rфакт. 72-кубитный Sycamore остаётся 🔎 — в его статье не названы ни бампы, ни flip-chip, ни корпус D[602]; Tianyan-287 наследует по сходству, как процессор, «подобный Zuchongzhi 3.0» C[708], а Beryllium от Alice & Bob — как преемник Lithium, хотя источник не повторяет для него flip-chip; «методы стекирования чипов» Academia Sinica C[759] и «интегрированная flip-chip-технология» Kaveri P[760] бампов не называют; источник по Zuchongzhi 3.2 не открывался. Пробел G-multidie закрыт: все проверенные (✅) носители — их семь — документируют двухкристальный стек, каждый разделён по функции или материалу, ни один не собирает решётку из плиток; двухрельсовое размещение из журнала пробелов (ledger) подтверждает процессор SUSTech.

Свидетельства — как измерены числа

Когерентность под накрывающим кристаллом показана на масштабе нескольких кубитов D[754]D[755]; данных по вентилям в стеке мало: CZ (98.66 ± 0.08)% D[755], однокубитная точность до 99.9% при БОК-управлении D[304]. Бенчмарки крупных носителей скрывают корпус. Отсутствуют по состоянию на 2026-09-26: одна и та же конструкция, измеренная с накрывающим кристаллом и без него; карты зазора по кристаллу >100 кубитов в сопоставлении с ошибкой попадания в целевую частоту; непрерывность бампов при термоциклах; контрольная цифра для выигрыша по T1 у Zuchongzhi 3.0.

В аннотации Tianyan-287 корпусирование не названо, а корпусирование Zuchongzhi 3.2 не подтверждено. T1 ≈ 32 µs у Shih et al. предполагает частоту кубита 5 GHz, которой источник не приводит. Не опубликовано: выход годных бампов или отказы при термоциклах для какой-либо машины-носителя; единственное число бампов — 2 900 у процессора WACQT, чей межкристальный зазор проверен электронной микроскопией, но не приведён факт.

Участники и экономика

Кто.
Организация Роль Страна Что именно они делают с этой технологией Свидетельства
Google Quantum AI разработчик США Sycamore из двух пластин на бампах In; процесс бампов, совместимый с кубитами D[291]D[756]
USTC разработчик Китай Кристалл кубитов/элементов связи на кристалле управления и считывания, разделение Ta/Al D[35]
AWS Center for Quantum Computing разработчик США Нелинейный кристалл Al на линейном кристалле Ta (Ocelot) D[80]
SEEQC разработчик США Кубитный чип на управляющем БОК-кристалле, зазор 10 µm D[304]
IBM разработчик США Пластина с кубитами на интерпозере с разводкой (Eagle) C[758]
MIT Lincoln Laboratory исследования США Потоковые кубиты flip-chip; TSV в стеках на бамп-соединениях D[754]D[540]
Chalmers University of Technology исследования Швеция Двухкристальные трансмонные модули, метрология зазора D[755]
Academia Sinica исследования Тайвань «Стекирование чипов» в 20-кубитной системе C[759]
QpiAI разработчик Индия Kaveri, flip-chip назван в прессе P[760]
SUSTech исследования Китай Процессор на четырёх двухрельсовых кубитах: кристалл кубитов flip-chip на кристалле-носителе D[406]
Alice & Bob разработчик Франция Flip-chip, запланированный для кристалла кошачьих кубитов Lithium Rфакт

Деньги. По состоянию на 2026-09-26 не найдено ни одной датированной финансовой позиции с источником, относящейся именно к многокристальной сборке.

Рынок и цепочка поставок. Каждый задокументированный стек построен разработчиком своего процессора или лабораторией S. Работает на G2–G4 на трансмонной архитектуре и на G3–G4 на архитектурах кошачьих и двухрельсовых кубитов.

Интеллектуальная собственность и стандарты. Количество патентов по названной базе данных здесь не приводится; по состоянию на 2026-09-26 ни один открытый источник не называет стандарта на соединение (bonding).

Дорожные карты и послужной список. По состоянию на 2026-09-26 ни один носитель не публикует датированной вехи по корпусированию; Academia Sinica «продолжает совершенствовать методы стекирования чипов» C[759]; Kaveri нацелен на когерентность ~100 µs и ошибку ~10⁻² P[760].

Стратегическое прочтение. Задокументированные большие трансмонные решётки — Sycamore, Zuchongzhi 3.0, Eagle — ведут разводку через второй кристалл; он покупает свободу выбора материалов и разводку, а не масштаб. Ценность смещается к контролю зазора и выходу годных бампов при 10³–10⁴ бампах, а для БОК — к тому единственному второму кристаллу, который убирает линии.

Перспективы и открытые вопросы

Подтвердить, если до 2027-12-31 носитель с числом кубитов свыше 100 опубликует число бампов, разброс зазора и ошибку попадания в целевую частоту; понизить, если к тому сроку ни один носитель с числом кубитов свыше 100 этих чисел не опубликует. Открытые вопросы. (1) Какова непрерывность бампов за один термоцикл при 10⁴ бампах? (2) Какая часть ошибки попадания в целевую частоту у кубитов с фиксированной частотой обусловлена неоднородностью зазора? (3) Задаёт ли интерфейс бампов пол потерь около Q ≈ 10⁶? (4) Может ли БОК-кристалл под кубитами удержать свой вклад в ошибку ниже 10⁻³? (5) Сохраняют ли преемники Sycamore, Zuchongzhi 3.2 и Tianyan-287 двухкристальный стек, который выводит реестр?

Литература
  1. [35] D. Gao et al., “Establishing a New Benchmark in Quantum Computational Advantage with 105-qubit Zuchongzhi 3.0 Processor,” Phys. Rev. Lett., vol. 134, Art. no. 090601, Mar. 2025, doi: 10.1103/PhysRevLett.134.090601. arXiv:2412.11924. [D]
  2. [80] H. Putterman et al., “Hardware-efficient quantum error correction via concatenated bosonic qubits,” Nature, vol. 638, no. 8052, pp. 927–934, Feb. 2025, doi: 10.1038/s41586-025-08642-7. [D]
  3. [249] C. Liu et al., “Single Flux Quantum-Based Digital Control of Superconducting Qubits in a Multichip Module,” PRX Quantum, vol. 4, no. 3, Art. no. 030310, Jul. 2023, doi: 10.1103/PRXQuantum.4.030310. [D]
  4. [291] F. Arute et al., “Quantum supremacy using a programmable superconducting processor,” Nature, vol. 574, no. 7779, pp. 505–510, Oct. 2019, doi: 10.1038/s41586-019-1666-5. [D]
  5. [304] C. Jordan et al., “A quantum computer controlled by superconducting digital electronics at millikelvin temperature,” Nat. Electron., vol. 9, no. 3, pp. 287–294, Mar. 2026, doi: 10.1038/s41928-026-01576-6. [D]
  6. [406] W. Huang et al., “Logical multi-qubit entanglement with dual-rail superconducting qubits,” Nat. Phys., vol. 22, no. 4, pp. 591–597, Mar. 2026, doi: 10.1038/s41567-026-03211-9. arXiv:2504.12099. [D]
  7. [540] D.-R. W. Yost et al., “Solid-state qubits integrated with superconducting through-silicon vias,” npj Quantum Inf., vol. 6, Art. no. 59, 2020, doi: 10.1038/s41534-020-00289-8. arXiv:1912.10942. [D]
  8. [602] R. Acharya et al., “Suppressing quantum errors by scaling a surface code logical qubit,” Nature, vol. 614, pp. 676–681, Feb. 2023, doi: 10.1038/s41586-022-05434-1. [D]
  9. [708] T. Q. Group, “Tianyan: Cloud services with quantum advantage,” arXiv:2512.10504, Dec. 2025. [C]
  10. [754] D. Rosenberg et al., “3D integrated superconducting qubits,” npj Quantum Inf., vol. 3, Art. no. 42, Oct. 2017, doi: 10.1038/s41534-017-0044-0. arXiv:1706.04116. [D]
  11. [755] S. Kosen et al., “Building blocks of a flip-chip integrated superconducting quantum processor,” Quantum Sci. Technol., vol. 7, no. 3, Art. no. 035018, Jun. 2022, doi: 10.1088/2058-9565/ac734b. arXiv:2112.02717. [D]
  12. [756] B. Foxen et al., “Qubit compatible superconducting interconnects,” Quantum Sci. Technol., Aug. 2017, doi: 10.1088/2058-9565/aa94fc. arXiv:1708.04270. [D]
  13. [757] Y.-A. Shih et al., “Flip-chip integrated superconducting qubits using electroplated bump bonds,” arXiv:2608.07306, Aug. 2026. [D]
  14. [758] O. Dial, “Eagle's quantum performance progress,” IBM Quantum Computing Blog, Mar. 23, 2022. [Online]. Available: https://www.ibm.com/quantum/blog/eagle-quantum-processor-performance [C]
  15. [759] Academia Sinica, “Academia Sinica Unveils 20-Qubit Superconducting Quantum Computer: Manufacturing Capabilities Reach Global Top-Tier,” Jan. 29, 2026. [Online]. Available: https://www.sinica.edu.tw/en/news_content/55/3655 [C]
  16. [760] N. Pereira, “QpiAI Unveils Kaveri, India's First Aatmanirbhar 64-Qubit Quantum Chip,” Sify, Feb. 26, 2026. [Online]. Available: https://www.sify.com/science-tech/qpiai-unveils-kaveri-indias-first-aatmanirbhar-64-qubit-quantum-chip/ [P]