Вертикальный (внеплоскостной) подвод сигналов — VIO, коаксмон, 3D разводка ct_vio
Линии управления и считывания от электроники при комнатной температуре подходят к каждому сверхпроводниковому кубиту через лицевую поверхность чипа — коаксиальные штыри, контактные зонды, сверхпроводниковые переходные отверстия (vias) или уложенный в стопку сигнальный кристалл, — а не разводятся в плоскости чипа к его краю.
Вертикальный (внеплоскостной) подвод сигналов — VIO, коаксмон, 3D разводка
Электроника комнатной температуры достигает каждого кубита через разводку, выходящую из плоскости кристалла — коаксиальные штыри, сквозные переходные отверстия, интерпозер маршрутизации сигналов — вместо линий в плоскости; именно это позволяет решётке расти за пределы нескольких сотен кубитов с краевой разводкой.
Обзор →Ключевые источники
Пространство проектирования — атрибуты
- (a) сродство носителя
- искусственный
- (b) время · запутывание
- —
- (c) считывание
- —
- (d) подвижность
- —
- (e) управление
- СВЧ @ комнатная
- (f) структура ошибки
- когерентная / калибровочная
- (g) производство
- литография сверхпроводниковых схем
Пространство оценки — датированные атрибуты
нет датированных атрибутов
Линий на кубит по-прежнему ~1–2; цена — процесс корпусирования и перекрёстные помехи плотных вертикальных штырей.
Участники и цели — аннотации
Рёбра
Используют 10 машин (10 основная · 0 альтернатива)
- сверхпроводниковые схемы 10
- Fujitsu 1,000-qubit machine Fujitsu (+ RIKEN) ссылка ▨ release 22 Apr 2025 (3D unit-cell configuration; 1,000-qubit plan) 🔎
- OQC ATHENA Oxford Quantum Circuits страница продукта ◌ 🔎
- OQC ATLAS Oxford Quantum Circuits страница продукта ◌ 🔎
- OQC GENESIS Oxford Quantum Circuits страница продукта страница продукта пресса ▣ Fig. 1b (coaxial unit cell); §II (shared coaxial control line) ✅
- OQC TITAN Oxford Quantum Circuits страница продукта ◌ 🔎
- OQC Toshiko Oxford Quantum Circuits страница продукта ▣ Fig. 2A (cross-section of out-of-plane wiring addressing a qubit); Fig. 1A-B (through-holes for out-of-plane wiring) ✅
- QuantWare Bass-A10K (VIO-40K) QuantWare пресса ▦ §VIO-40K announcement (40,000 input–output lines; VIO 3D scaling architecture) ✅
- RIKEN 64-qubit superconducting processor RIKEN with AIST, NICT, Osaka University, Fujitsu, NTT пресса пресса ▥ Fig. 2 (perpendicular wiring package: control/readout lines via contact probes); Fig. 5 (wiring in DR) ✅
- RIKEN-Fujitsu 256-qubit superconducting quantum computer RIKEN RQC + Fujitsu пресса пресса ▥ §High-density implementation (quadrupled density in the same dilution refrigerator; thermal design) ✅
- RIKEN RQC-Fujitsu 64-qubit superconducting quantum computer RIKEN RQC + Fujitsu пресса ◌ 🔎
Иллюстрации
У каждой иллюстрации — рассказ о том, что на ней, и строка авторства.


Вертикальный (внеплоскостной) подвод сигналов — VIO, коаксмон, 3D разводка
Линии управления и считывания от электроники при комнатной температуре подходят к каждому сверхпроводниковому кубиту через лицевую поверхность чипа — коаксиальные штыри, контактные зонды, сверхпроводниковые переходные отверстия (vias) или уложенный в стопку сигнальный кристалл, — а не разводятся в плоскости чипа к его краю.
Вердикт. Несёт 256-кубитный процессор (RIKEN/Fujitsu) и корпус масштаба пластины на >500 кубитов (OQC); снимает стену краевой разводки, но не число линий, а перекрёстные помехи между линиями опубликованы только для четырёхкубитного устройства по состоянию на 2026-09-26.
TSV = сквозное переходное отверстие в кремнии (through-silicon via); MXC = камера смешения (mixing chamber), самая холодная ступень рефрижератора; T1, T2e = время релаксации и время дефазировки с эхом; G1–G7 = классы целей отчёта (см. «Участники и экономика»).
Сущность и происхождение
Линии по-прежнему начинаются в стойках при комнатной температуре (ct_rt); меняется лишь последний сантиметр. Вместо копланарной линии, разведённой к контактной площадке под разварку (wire bond) на краю кристалла, сигнал входит через лицевую поверхность чипа — подпружиненный или коаксиальный штырь, контактный зонд, сверхпроводниковое переходное отверстие или сигнальный кристалл, присоединённый методом bump-bonding. Квантовый сокет (quantum socket) из Waterloo (2016) прижимал к чипу подпружиненные коаксиальные провода D[532]; оксфордская коаксиальная схемная КЭД (circuit QED, 2017) разместила кубит и резонатор на противоположных сторонах кристалла, а всю разводку — перпендикулярно D[533]; отсюда ведёт начало Coaxmon от OQC. RIKEN предпочёл сверхпроводниковые переходные отверстия с обратной стороны интерфейсам flip-chip, которые всё равно выводят площадки к краю C[534], и сделал обзор необходимого для этого корпусирования G[535].
Атрибуты: СВЧ-управление при комнатной температуре; когерентная ошибка; изготовление по сверхпроводниковой литографии.
Физика и пределы
Краевая разводка. В решётке m × m каждая линия, обслуживающая кубит внутри кольца, пересекает ~4m межкубитных промежутков этого кольца; при k линиях на кубит и c линиях на промежуток разводка замыкается при m = 4c/k — для k = 2 и c = 3–5 это N ≈ 36–100 S. Это и есть плато ~100 кубитов, на которое ссылается QuantWare C[536], при том что на разводку уходит «почти 90% чипа» C[537]. Сигнальный кристалл flip-chip увеличивает c, но линии всё равно выходят через периметр ∝ √N, тогда как их число растёт ∝ N, — рост полиномиальный, а не «экспоненциальное разветвление (fan-out)», о котором говорит поставщик S. Вертикальный ввод сохраняет число линий на единицу площади постоянным, поэтому решётка тайлируется.
Линия. Вакуумное коаксиальное отверстие имеет 50 Ω при отношении диаметров 2.3 S. Штыри OQC с 50 ± 2.5 Ω заканчиваются в 0.9 mm (кубит) или 0.4 mm (резонатор) от схемы и связываются эванесцентно, ниже частоты отсечки отверстия: селективность линий управления от −40 до −60 dB при шаге 2 mm D[538]. Негальванические штыри не проводят постоянный ток, поэтому кубитам и элементам связи с перестройкой потоком нужны зонды, переходные отверстия или бампы S.
Моды корпуса. Кремниевый кристалл размером 20 mm может резонировать уже на ~3 GHz, внутри полосы кубитов S; индуктивная колонна OQC поднимает частоту отсечки корпуса до 34.3 GHz и ограничивает паразитную связь величиной |J|/2π < 250 kHz D[538].
Тепловыделение задаётся числом линий, а не трассой их прокладки: полностью разведённый корпус OQC масштаба пластины оценивается в ≤~3 µW на MXC при 25–30 µW мощности охлаждения на 20 mK D[311].
Достигнутый инженерный уровень
таблица
| Год | Показатель | Кто | Тег+ключ |
|---|---|---|---|
| 2016-05 | Подпружиненные коаксиальные провода, DC–8 GHz, контактное сопротивление ~150 mΩ, рассогласование ~10 Ω | Univ. of Waterloo | D[532] |
| 2017-08 | Сверхпроводящие TSV, нулевое сопротивление между переходными отверстиями ниже критической температуры алюминия | Rigetti | D[539] |
| 2020 | TSV 10 × 20 × 200 µm несут управление и считывание в стопке с bump-соединениями | MIT Lincoln Laboratory | D[540] |
| 2021-11 | 127 кубитов, разводка на «нескольких физических уровнях» | IBM Eagle | C[541] |
| 2022-04 | 2 × 2 коаксмона (coaxmon); T1 149(38) µs; однокубитная точность 99.982(4)% | Oxford / OQC | D[538] |
| 2023-03 | 64 кубита, чип 2 cm, контактные зонды, 96 входных + 16 выходных линий | Консорциум RIKEN | C[542] |
| 2025-04 | 256 кубитов; плотность ×4 в том же рефрижераторе | RIKEN / Fujitsu | C[51] |
| 2026-02 | >500 кубитов на 3-дюймовом кристалле; медиана T1 97 µs, T2e 129 µs | OQC | D[311] |
Среди носителей в реестре за пределами 256 кубитов, связанных вентилями, существуют лишь заявления: VIO-40K — 40 000 линий на 10 000 кубитов в модулях-чиплетах, поставки в 2028 г. C[536]. Ни у одной из японских машин в реестре нет двухкубитной ошибки, а корпус OQC отчитывается о когерентности и считывании, а не о вентилях D[311].
Производство, материалы и цепочка поставок
Переходные отверстия: MIT Lincoln Laboratory изготавливает кубиты на поверхности, несущей TSV D[540]; наклонные стенки у Rigetti позволяют плёнкам, нанесённым испарением или распылением, покрывать переходное отверстие D[539]. Штыри: корпус OQC справляется с дифференциальным тепловым сжатием на 3 дюймах благодаря зазорам штырей 0.5 mm D[311]. Стопки: QuantWare интегрирует «все компоненты формирования сигнала» C[537] и в 2026 г. открывает KiloFab в Делфте с мощностью в 20× выше, чем у неё в 2025 г. C[536]. Выход годных для штырей, переходных отверстий и бампов на 10³–10⁴ контактов не опубликован по состоянию на 2026-09-26.
Управление, считывание и нагрузка на ввод-вывод
Вертикальный подвод перемещает линии, но не устраняет их. 64 кубитам RIKEN нужны 112 линий C[542], 1.75 на кубит S; четырёхкубитному устройству OQC — две на кубит D[538]; VIO-40K — четыре C[536]. Корпус OQC масштаба пластины делит каждую линию между девятью кубитами, причём управление идёт поверх считывания D[311], — ~0.11 на кубит S; димон (dimon), кубит GENESIS C[543], возбуждает обе моды через одну линию управления D[250]. На 10³ кубитах это 10²–4×10³ линий S; на 10⁴ QuantWare заявляет один криостат C[537]; на 10⁶ разрыв закрывает только холодное мультиплексирование — ct_cryocmos, ct_sfq S. Задержка контура управления не меняется S.
Роль в стеке
Слот 5 архитектур «Решётка трансмонов с перестраиваемыми элементами связи» и «Двухрельсовые кубиты со стираниями». Технология требует электроники ct_rt за вертикальной разводкой и переходных отверстий, штырей и интерпозеров fab_sc; она и ct_rt заменяют друг друга («краевой vs вертикальный подвод сигналов»); ни одного ребра обеспечивает не записано. Освобождает она край кристалла — для межчиповых связей между краевыми кубитами C[537], что является предпосылкой для ic_multidie. Её несут десять машин реестра (10 — как основную). RIKEN 64 и RIKEN–Fujitsu 256 отмечены ✅ по цифрам поставщика; ✅ у Toshiko опирается на четырёхкубитную статью, у GENESIS — на статью о двухрельсовых кубитах, у VIO-40K — на анонс. Машина Fujitsu на 1 000 кубитов — 🔎: цитируемая статья говорит о высокоплотном корпусировании, а не о перпендикулярной разводке P[546]; разводка ячейки на 10 000 кубитов не раскрыта. Contralto-A17 и Tenor-D64 в их число не входят: источник представляет Contralto-A как «экономичный путь модернизации до QPU QuantWare на базе VIO», а не как такой QPU C[544], а страница D-line изображает модули «VIO 1K» и «VIO 40K», не называя процессора C[545]. Пробел G-vio закрыт: число линий на кубит лежит в диапазоне 0.11–4; число слоёв разводки не раскрывает ни один носитель.
Свидетельства — как измерены числа
Перекрёстные помехи между линиями существуют лишь в виде четырёхкубитной матрицы селективности OQC D[538]; RIKEN, Fujitsu и QuantWare в открытых источниках ничего подобного не публикуют по состоянию на 2026-09-26. Корпус OQC — единственный многокубитный набор данных: медианные T1, T2e ~100 µs по ~100 кубитам, точность считывания 97.5% и температура кубитов 36 mK по 54 кубитам D[311]. Отсутствуют: одновременные бенчмарки по >100 линиям; выход годных контактов на протяжении термоциклов.
Не опубликовано: входят ли сигналы в процессорах поколения Eagle у IBM через лицевую сторону чипа; способ подвода сигналов в Rigetti Ankaa; данные QuantWare об импедансе, выходе годных и тепловой нагрузке VIO и то, какой процессор несёт «VIO 1K»; а для корпуса OQC с девятикратным разделением на 56 ячеек — число линий, входящих в корпус, и связаны ли его кубиты.
Участники и экономика
Кто.
| Организация | Роль | Страна | Что именно они делают с этой технологией | Свидетельства |
|---|---|---|---|---|
| RIKEN | исследования | Япония | Корпус с контактными зондами, 64 кубита | C[542] |
| Fujitsu | разработчик | Япония | Тайлинг элементарными ячейками на 256 кубитов; 1 000 кубитов заявлено на 2026 г. | C[51] |
| Oxford Quantum Circuits | разработчик | Великобритания | Coaxmon в Toshiko и GENESIS; корпус масштаба пластины | C[543]D[311] |
| QuantWare | поставщик | Нидерланды | Стопка чипов VIO; VIO-40K на 2028 г. | C[537] |
| MIT Lincoln Laboratory | исследования | США | TSV в стопках с bump-соединениями | D[540] |
| Rigetti Computing | разработчик | США | Процесс сверхпроводниковых TSV | D[539] |
| IBM | разработчик | США | Многоуровневая разводка (Eagle) | C[541] |
Деньги.
- 2026-05-05 · QuantWare · раунд серии B во главе с Intel Capital и In-Q-Tel, с упоминанием VIO-40K и KiloFab · USD 178 M · объявлено C[547]
- 2026-06-02 · OQC · раунд серии C во главе с Bullhound Capital, Coaxmon не упомянут · GBP 260 M · объявлено C[60]
Рынок и цепочка поставок. RIKEN/Fujitsu и OQC строят собственные корпуса; QuantWare продаёт VIO, чтобы «масштабировать кубитные чиплеты и проекты третьих сторон» C[547]. Работает на G2–G4 (трансмон) и G3–G4 (двухрельсовые кубиты).
Интеллектуальная собственность и стандарты. OQC называет Coaxmon «запатентованным» C[543], номер патента не прослежен; QuantWare продвигает VIO-40K как стандарт своей Quantum Open Architecture P[495]. Органа стандартизации нет по состоянию на 2026-09-26.
Дорожные карты и послужной список. В июле 2020 г. RIKEN нацелился на 64-кубитное устройство «в ближайшие три года» C[534] и открыл его 2023-03-27 C[542] — обещание выполнено. Fujitsu по-прежнему указывает 1 000 кубитов на 2026 г. C[75]; запуска не найдено по состоянию на 2026-09-26. QuantWare: VIO-40K в 2028 г. C[536]; промежуточных данных по VIO нет по состоянию на 2026-09-26.
Стратегическое прочтение. За пределами ~100 кубитов вертикальный ввод решает, тайлируется ли кристалл, а не то, способен ли рефрижератор его обслужить; стоимость перемещается к мощностям по переходным отверстиям, бампам и штырям и к тому, кто первым опубликует перекрёстные помехи и выход годных на масштабе.
Перспективы и открытые вопросы
Подтвердить, если к 2027-12-31 процессор с вертикальной разводкой на более чем 256 кубитов опубликует двухкубитные ошибки вместе с одновременными перекрёстными помехами; понизить, если 1 000-кубитная машина Fujitsu минует 2026-12-31 без раскрытия данных или VIO-40K сдвинется за 2028 г. Открытые вопросы. (1) Какой шаг удерживает селективность ниже −40 dB при расстоянии между кубитами 1 mm? (2) Могут ли негальванические штыри обслуживать элементы связи с перестройкой потоком? (3) Каков выход годных контактов на один термоцикл при 10⁴ штырей? (4) Выдерживает ли разделение линии на девять кубитов связанные кубиты и вентили? (5) На каком масштабе ограничением становится собственное тепло стопки?
Литература
- [51] Fujitsu Limited and RIKEN, “Fujitsu and RIKEN develop world-leading 256-qubit superconducting quantum computer,” Fujitsu Global, Apr. 22, 2025. [Online]. Available: https://info.archives.global.fujitsu/
global/ [C]about/ resources/ news/ press-releases/ 2025/ 0422-01.html - [60] A. Curbison, “OQC raises £260m in Europe's largest ever private quantum computing funding round,” OQC, Jun. 2, 2026. [Online]. Available: https://oqc.tech/
company/ [C]newsroom/ series-c - [75] Fujitsu, “Fujitsu Quantum.” [Online]. Available: https://global.fujitsu/
en-global/ [C]technology/ research/ quantum - [250] J. Wills, M. T. Haque, and B. Vlastakis, “Error-detected coherence metrology of a dual-rail encoded fixed-frequency multimode superconducting qubit,” arXiv:2506.15420, Jun. 2025. [D]
- [311] O. W. Kennedy et al., “Design and Operation of Wafer-Scale Packages Containing >500 Superconducting Qubits,” arXiv:2602.12773, Feb. 2026. [D]
- [495] M. Abdel-Kareem, “QuantWare Debuts VIO-40K™ Architecture to Enable 10,000-Qubit Superconducting Processors,” Quantum Computing Report, Dec. 10, 2025. [Online]. Available: https://quantumcomputingreport.com/
quantware-debuts-vio-40k-architecture-to-enable-10000-qubit-superconducting-processors/ [P] - [532] J. H. Béjanin et al., “The Quantum Socket: Three-Dimensional Wiring for Extensible Quantum Computing,” Phys. Rev. Appl., vol. 6, Art. no. 044010, 2016, doi: 10.1103/PhysRevApplied.6.044010. arXiv:1606.00063. [D]
- [533] J. Rahamim et al., “Double-sided coaxial circuit QED with out-of-plane wiring,” Appl. Phys. Lett., vol. 110, no. 22, Art. no. 222602, May 2017, doi: 10.1063/1.4984299. arXiv:1703.05828. [D]
- [534] RIKEN, “Wiring a new path to scalable quantum computing,” Jul. 3, 2020. [Online]. Available: https://www.riken.jp/
en/ [C]news_pubs/ research_news/ rr/ 20200703_2/ index.html - [535] S. Tamate, Y. Tabuchi, and Y. Nakamura, “Toward Realization of Scalable Packaging and Wiring for Large-Scale Superconducting Quantum Computers,” IEICE Trans. Electron., vol. E105.C, no. 6, pp. 290–295, Jun. 2022, doi: 10.1587/transele.2021SEP0007. [G]
- [536] QuantWare, “QuantWare announces scaling breakthrough with VIO-40K™, delivering 10,000 qubit Quantum Processors for the first time,” Dec. 8, 2025. [Online]. Available: https://quantware.com/
news/ [C]quantware-announces-scaling-breakthrough-with-vio-40k - [537] QuantWare, “Technology — VIO™ 3D Scaling Architecture.” [Online]. Available: https://quantware.com/
technology [C] - [538] P. A. Spring et al., “High coherence and low cross-talk in a tileable 3D integrated superconducting circuit architecture,” Sci. Adv., vol. 8, no. 16, Art. no. eabl6698, Apr. 2022, doi: 10.1126/sciadv.abl6698. arXiv:2107.11140. [D]
- [539] M. Vahidpour et al., “Superconducting Through-Silicon Vias for Quantum Integrated Circuits,” arXiv:1708.02226, Aug. 2017. [D]
- [540] D.-R. W. Yost et al., “Solid-state qubits integrated with superconducting through-silicon vias,” npj Quantum Inf., vol. 6, Art. no. 59, 2020, doi: 10.1038/s41534-020-00289-8. arXiv:1912.10942. [D]
- [541] J. Chow, O. Dial, and J. Gambetta, “IBM Quantum breaks the 100‑qubit processor barrier,” IBM Quantum Computing Blog, Nov. 16, 2021. [Online]. Available: https://www.ibm.com/
quantum/ [C]blog/ 127-qubit-quantum-processor-eagle - [542] NTT (joint release of RIKEN, AIST, NICT, Osaka University, Fujitsu and NTT), “Japanese joint research group launches quantum computing cloud service: Opening access to Japan's first superconducting quantum computer,” Mar. 24, 2023. [Online]. Available: https://group.ntt/
en/ [C]newsrelease/ 2023/ 03/ 24/ 230324a.html - [543] Oxford Quantum Circuits, “Devices – OQC,” OQC. [Online]. Available: https://oqc.tech/
tech/ [C]devices/ - [544] QuantWare, “Introducing Contralto-A: a QPU for quantum error correction,” Feb. 25, 2025. [Online]. Available: https://quantware.com/
news/ [C]introducing-contralto-a-qpu-for-quantum-error-correction - [545] QuantWare, “D-line QPUs — Build bigger, scale faster.” [Online]. Available: https://quantware.com/
product/ [C]processors/ d-line - [546] M. Swayne, “How Fujitsu Is Tackling a 10,000-Qubit Quantum Computer for Practical Applications,” The Quantum Insider, Dec. 8, 2025. [Online]. Available: https://thequantuminsider.com/
2025/ [P]12/ 08/ how-fujitsu-is-tackling-a-10000-qubit-quantum-computer-for-practical-applications/ - [547] QuantWare, “QuantWare Raises $178 Million to Build World’s Most Powerful Quantum Processors at an Industrial Scale,” May 5, 2026. [Online]. Available: https://quantware.com/
news/ [C]quantware-raises-178-million